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安装质量不好会使升压速率达不到技术要求，真空炉长期使用后升压速率也会增大。当真空压力上升速率恶化到一定程度时，被处理零件的表面质量会下降，加热元件的使用寿命会明显降低。这是检测炉膛泄漏，消除漏风原因的需要。泄漏检测和消除的目的是使泄漏率满足技术要求。1)漏风孔造成的漏风；2)渗透造成的漏风；渗透是指气体不通过固体中的孔洞泄漏，而是吸附在固体高压侧的表面，然后沿浓度梯度向固体低压侧扩散的现象。真空炉中的金属、玻璃、橡胶、陶瓷等材料都是透气的。

利用压力-时间曲线可以求出真空系统的压力上升率。

从曲线可以看出，在抽真空的过程中，真空炉内的压力在开始时迅速下降，然后达到一个稳定的水平。真空阀关闭后，炉内压力变化可以用曲线表示。

由于双室油淬炉使用的热电偶长期交替正负压力，其外壳的金属管会释放出氧化粉尘，被热电偶中磁管的微孔吸附，白色磁管会变黄或变黑，造成真空炉中热电偶陶瓷管导电现象。修理热电偶时，应经常检查磁管的颜色，并用万用表检测磁管的导电性。如果出现这种情况，应该更换热处理过的磁性管。

目前国内高压气体淬火的工件变形普遍较大。原因是:我国典型的真空高压气淬炉的炉型是圆形的，在炉的四周均匀布置淬火冷却喷嘴，以获得均匀的气流场。实际上，这种结构的炉内冷却气流的均匀性很差。前后炉端面附近气流速度很低，冷却能力差。靠近炉门的一端冷却速度比另一端快。在炉料有效尺寸范围内，冷却空气流量也较低，面向喷嘴的圆柱面上气体流量较高，而相邻两个喷嘴之间的冷却能力很低，工件面向喷嘴的喷雾冷却痕迹明显。同一炉内不同位置工件的冷却有很大不同。这种情况导致工件淬火变形大，工件耐回火性不一致。

预真空回火炉是一种保护气氛热处理炉。真空回火炉可以通过充气和通风消除炉内的氧化气氛。充气法是对炉内不断进行充气和放气，以驱除炉内氧化的杂质气体，使炉内气氛纯度达到要求。通风方式是用机械泵把炉内的氧化气体抽出来，然后充入保护气体，再把不纯气体抽出来，充入保护气体。如此反复数次，直到炉内气体纯度合格。高合金钢真空回火真空度133MPa，炉内残氧0.132%。