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真空热处理是真空技术与热处理相结合的综合技术，是指热处理过程的全部或部分在真空状态下进行。真空热处理可以实现淬火、退火、回火、渗碳、渗铬、渗氮等几乎所有的热处理过程。在淬火过程中，可以实现气体淬火、油淬火、硝酸盐淬火和水淬火。与普通热处理相比，它具有以下优点。

1.不氧化、不脱碳、不渗碳可以保护工件的内部和表面。(真空热处理炉)

被氧化的金属表面失去金属光泽，表面粗糙度增加，精度下降。而且钢材表面的氧化皮往往是淬火软点和淬火裂纹的根源。氧化会降低钢零件的强度和其他机械性能。脱碳是指加热时钢的表面碳含量减少的现象。

一般来说，钢的氧化和脱碳是同时进行的。由于脱碳层被氧化，碳含量的降低会明显降低钢的淬火硬度、耐磨性和疲劳性能，高速钢脱碳会降低红硬性。

在真空热处理中，由于金属是在一定的真空度下加热的，工件避免了与氧气的接触，工件不会被氧化或脱碳，从而可以获得光亮的表面和较好的热处理质量。同时，在真空状态下，不会发生还原反应，因此不会发生渗碳。通过添加保护剂后的工件表面与真空淬火后的金相照片对比，可以清楚地看出真空热处理的优势。

2.提高整体机械性能，脱气，促进金属表面净化。

真空对液态金属有明显的除气作用，对固态金属中的溶解气体也有很好的去除作用。金属中最有害的气体是氢。当采用真空加热时，可迅速将金属和合金中的氢降低到最低水平，消除氢脆，从而提高材料的塑性、韧性和疲劳强度，提高工件的整体力学性能。而如果真空度低于相应氧化物的分解压力，氧化物就会分解，形成的游离氧会立即从真空室排出，使金属的表面质量进一步提高，甚至表面被活化，从而起到净化作用。

3、工件变形小。

一般来说，被处理的工件是在炉内通过热辐射加热的，所以内外温差小，热应力小，这就决定了真空热处理的零件变形小。真空中加热和淬火同时自动完成，避免了工件在热状态下在空气中的搬运(盐浴处理和气氛保护处理虽然在无氧环境下加热，但仍在空气或含氧分子的淬火介质中淬火)，减少了人为加工变形。比如Cr12MoV材质的滚丝轮，分别经过真空热处理和盐浴处理。真空热处理比盐浴处理变形小70%，产品合格率高。

4、可以降低工件中含金元素挥发性。

真空热处理可以在受控的气氛中加热和真空淬火，从而降低工件中含金元素的挥发性，保证工件的热处理质量。

5.其他人

真空热处理炉热效率高，可实现快速加热和冷却；具有良好的稳定性和重复性。工作环境好，操作安全，无污染，无公害。