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真空炉的操作步骤主要体现在以下几个方面:
1.在升温操作界面输入所需的工艺要求,开始加热。
2.加热程序停止后,(如果在添加过程中抽真空,真空炉炉温降至适合该过程的温度后,真空泵机组将关闭,关闭过程同上),扩散泵温度降至可触摸温度时,扩散泵才能关闭。
3.当炉温降至室温时,打开排气阀,等待炉内压力达到大气压。
4.打开炉门,取出材料。
5.取出材料后,应清洁真空炉的内部。长时间不使用时,炉门应保持关闭,炉子应保持真空状态。
真空炉热处理效果能否达到预期效果,掌握正确的操作流程至关重要。同时,遵循正确的步骤也是设备的一种维护措施,可以降低故障率,延长使用寿命。
6.打开真空炉门,装料。关闭烤箱门,确保烤箱密封良好。
7.检查所有手动真空阀,确保它们已关闭。
8.当主电源打开时,控制显示屏将亮起。
9.打开冷水机电源,在冷水机操作界面输入所需水温,启动水冷系统(详见冷水机操作手册)。
10.打开旋转叶片泵上的排气口,以确保气体循环。(使用旋转叶片泵后,密封排气口以防止杂质进入旋转叶片泵)确保扩散泵和旋转叶片泵阀门关闭。
11.在触摸屏界面上启动旋片泵和扩散泵。
12.缓慢旋转并打开旋片泵阀,以避免因排气口空气量过多而喷油。
13.旋转叶片泵和扩散泵运行约1小时后,真空表右侧显示小于100Pa。关闭旋转叶片泵阀,打开扩散泵阀。
14.当真空计显示屏上达到要求的真空度时,关闭真空泵组并开始加热。(真空泵组停机流程:先关闭扩散泵阀→停扩散泵→40分钟后停旋片泵)抽真空时也可以加热。













