石墨舟皿去垢前的检查工作

石墨舟皿去垢前的查看工作：
    石墨舟在使用过程中挨近100次时需求操作人员及时查看镀膜状况，出现镀膜反常，需求进行清洗确认。
    硅片在石墨舟内正常镀膜色彩为蓝色，片内出现非蓝色、多种色彩或片与片间色彩差异较大，都为镀膜反常，需求工艺确认反常原因。
    由工艺人员对舟的镀膜状况进行剖析后，确认石墨舟是否需求清洗以及卡点是否需求更换，出产将需清洗的舟交由设备人员清洗。
    石墨舟确认需求清洗后，由设备、出产、工艺三方对石墨舟进行查看。