用未燃烧的石油焦制成的石墨制品

用未燃烧的石油焦制成的石墨制品
    用未燃烧的石油焦制成的石墨制品，是二种机械强度很高的细粒结构材料，可用于制造电子技术制品，如排期、薄板、因盘、真空炉和高频电炉的加热器、巡热被、解泰她签属的石墨皿、高温实验设备的操纵器（夹头）、热压压模和过滤器等。此种材料可用于懂性气氛或保护性气氛中在2500℃以下的温度中作业；在真空(10-~10mmHgo，中于2000℃以下能够作业良久。
    高纯石墨制品是用于制造半导体技术设备的各种元件，它是以一般的结构石墨在石墨化进程顶用活性气体净化而成的。已净化的石墨须在避免制品污染的条件下进行机械加工。这种石墨（净化后）的灰分不跨过1×10%，铁、铝、镁的含量不该跨过3×105%，铜、硼、锰的含量不该跨过1×10%。上面这些束缚杂质含量都符合纯洁级。在这些石墨里，硅钙的含量不大于3×10(质量%），工业上还有纯度更高的结构石墨。用这种石墨制成的制品经过机械加工之后再进行弥补净化，以削减其表面感染的几率。束缚杂质——铁、铝、镁、硼、铜、锰的含量不许跨过1×10%，硅的含量不许跨过3×10-%，钛、镍、铬及其他元素的含量应少于1x10%。这些石墨的灰分在0~10*%。各种商标特纯石墨的物理力学功用。
    注：TM石墨的热处理温度为2700℃，其他各种商标石墨的热处理温度为2800~3000℃。有保护层的特纯高强石墨是由一般细结构石墨经过净化并在真空中脱气，然后用热解炭进行表面增密处理而成的。其制品（加热器、圆盘、石墨皿等)可用于以气体外延成长法制取硅薄膜。制品内杂质含量：铁不跨过5×10*%，铝不跨过2×10%，镁和铜不跨过5x105%，钛不跨过1×10*%，镍和钻不跨过1×10-%。
    热解炭构成的增密保护层的厚度不大于2mm。也可在经过增密处理的石墨制品的表面，还能够堆积厚度不跨过0.1mm的热解石墨薄层。石墨制品经热解炭增密处理之后，其透气性和气