石墨热场的核心组成与结构

石墨热场一般由以下要害部件构成：
    加热器：选用等静压石墨或高纯石墨制成，支持2000℃以上安稳加热，保证硅料熔融及晶体成长所需温度。
    石墨坩埚：三瓣式规划避免硅液泄露，使用寿命达30-50炉次，保障单晶硅成长的连续性。
    隔热体系：由多层石墨毡或碳纤维复合材料构成，热反射率≥90%，下降能耗20%-30%，同时避免热量外泄。
    导流筒与电极：导流筒优化热场气流分布，电极选用石墨材料保证电流安稳传导，减少能量损耗。
    维护部件：炉底、金属电极、托杆等方位设置维护板或维护套，避免漏硅及机械危害。

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