石墨热场的工作原理
2025年08月27日
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石墨热场
石墨热场的作业原理
石墨热场经过电能转化为热能,运用石墨的高导热性(导热系数达100-400 W/(m·K))实现热量快速均匀分布。其作业进程可分为以下阶段:
加热阶段:电流经过石墨电极导入加热器,石墨材料敏捷升温至1414℃以上,熔化硅料。
温度控制阶段:经过调度电流强度及热场梯度分布,保持单晶生长所需的安稳温度场,下降晶体缺陷率。
隔热与保温阶段:多层石墨隔热材料削减热量丢掉,保证热场中心区域温度均匀性,进步出产功率。

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