用于真空炉石墨部件的防护方法

用于真空炉石墨部件的防护办法
    本发明触及一种用于真空炉石墨部件的防护办法，该防护办法包括:
    1)对真空炉石墨部件进行抛光打磨,使真空炉石墨部件的表面粗糙度到达0.5mm以下；
    2)将抛光打磨后的真空炉石墨部件放入CVD炉内；
    3)设定CVD炉内的温度和压力，向CVD炉内通入甲烷和氮气或许通入三氯化硼，氨气和惰性气体，毕竟在石墨部件表面堆积一层热解石墨涂层或热解氮化硼涂层。
    本发明通过在真空炉石墨部件表面涂覆一层热解石墨或热解氮化硼涂层，一方面能够防止石墨粉尘蒸发出来污染反响腔室，然后进步产品的纯净度；另一方面能够维护真空炉石墨部件，延伸真空炉石墨部件的使用寿命，下降企业本钱。